Установка для выращивания монокристаллов из расплава
Установка для выращивания монокристаллов из расплава CRYSTEN является технологическим оборудованием, позволяющим выращивать монокристаллы различных тугоплавких веществ методом Чохральского (для веществ, плавящихся без разложения, например, Na2Si2O5, K2Si2O5, PbMoO4, PbWO4, PbMo2O7, LiNbO3, BaTiO3, BiGe3O12), и методом выращивания из раствора в расплаве (flux-метод, для веществ, плавящихся с разложением, например, NaAl (WO4)3, LiB3O5, LiCsB6O10, CsB3O5, BaB2O4, KTiOPO4 и семейства титанил-фосфатов и арсенатов, KGd(WO4)2, KY(WO4)2, семейства KGW и KYW, NaY(WO4)2, NaPO3, Al2(WO4)3, YVO4).
Выращивание монокристаллов обеспечивается для веществ с температурой плавления вплоть до 1700 градусов Цельсия. Установка обеспечивает различные сочетания основных технологических параметров (температуры роста, атмосферы роста, скорости подачи и вращения кристалла, условий охлаждения).
Основными компонентами и функциональными подсистемами установки являются: нагревательная система (обеспечивает разогрев и плавление исходного вещества (шихты), а также поддержание заданного температурного режима в течение всего процесса), рабочая камера (область установки, в которой находится тигель, содержащий расплав вещества; представляет собой специальную камеру внутри нагревательной системы), система подачи и вращения кристалла (обеспечивает вращение растущего кристалла вокруг вертикальной оси (для более однородных температурных условий и циркуляции расплава вокруг растущего кристалла) и его линейное перемещение вдоль этой оси (для вытягивания растущего кристалла)), система вакуумной откачки и подачи ростовой атмосферы (для откачки рабочей камеры от воздуха и её наполнения специальными газами), система управления и мониторинга (управление механическими узлами установки и её температурными параметрами, осуществляемое с помощью специального компьютера и температурного контроллера)